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消泡剤
消泡剤♯400-2
- エッチング工程
- 水溶性レジスト現像剥離工程での消泡剤
- 現像液、剥離液に添加して使用
- シリコン系
- 酸、アルカリどちらでも使用可能
| PRTR法 | 第一種物質 |
|---|---|
| 有機則 | 非該当 |
| 消防法 | 非該当 |
| 毒劇法 | 非該当 |
| 容量 | 規格 |
|---|---|
| 1L | ポリ容器 |
| 10L | キュービテナー |


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消泡剤
| PRTR法 | 第一種物質 |
|---|---|
| 有機則 | 非該当 |
| 消防法 | 非該当 |
| 毒劇法 | 非該当 |
| 容量 | 規格 |
|---|---|
| 1L | ポリ容器 |
| 10L | キュービテナー |


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